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位移传感器的光学系统设计

莫仁芸,朱万彬,钟俊,陈璇

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莫仁芸, 朱万彬, 钟俊, 陈璇. 位移传感器的光学系统设计[J]. , 2010, 3(5): 513-517.
引用本文: 莫仁芸, 朱万彬, 钟俊, 陈璇. 位移传感器的光学系统设计[J]. , 2010, 3(5): 513-517.
MO Ren-yun, ZHU Wan-bin, ZHONG Jun, CHEN Xuan. Optical design of laser displacement sensor[J]. Chinese Optics, 2010, 3(5): 513-517.
Citation: MO Ren-yun, ZHU Wan-bin, ZHONG Jun, CHEN Xuan. Optical design of laser displacement sensor[J].Chinese Optics, 2010, 3(5): 513-517.

位移传感器的光学系统设计

基金项目:

吉林省科技厅科技发展计划重点项目(No.20080339)

详细信息
    作者简介:

    莫仁芸(1986—),女,广西柳州人,硕士研究生,主要从事 检测及应用方面的研究。 E-mail:xiaosha_413@163.com
    朱万彬(1963—),男,吉林长春人,主要从事 加工测量方面的研究。E-mail:wanbinzhu@163.com

    莫仁芸(1986—),女,广西柳州人,硕士研究生,主要从事 检测及应用方面的研究。 E-mail:xiaosha_413@163.com
    朱万彬(1963—),男,吉林长春人,主要从事 加工测量方面的研究。E-mail:wanbinzhu@163.com

  • 中图分类号:TP212.12; TN249

Optical design of laser displacement sensor

  • 摘要:针对目前国内自主研制的 位移传感器精度低,测量范围小等问题,提出了一种采用光学设计软件预先仿真整个 位移传感器光学系统的方法。在分析系统各部分的光学特性的基础上,结合具体要求设计了一个 位移传感器的光学系统,其工作范围为(5010) mm。采用系统分割的方法,将整个光学系统分为两部分进行设计,第一部分是 束的整形透镜,要求在有效的工作范围内得到小而均匀的出射光斑,设计结果表明,在测量范围内,光斑大小能够控制在10-1 mm量级;另一部分是被测面散射光接收的成像物镜,该系统的特点是物面和像面相对于光轴都有一定的角度,实验结果表明其成像满足Scheimpflug条件。

  • [1] 冯俊艳,冯其波,匡萃方,等. 高精度 三角位移传感器的技术现状[J]. 应用光学 ,2004,25(3):33-36. FENG J Y,FENG Q B,KUANG C F,et al.. Present status of high precision laser displacement sensor based on triangulation[J].J. Appl. Opt.,2004,25(3):33-36.(in Chinese) [2] 陈骥,王鑫,曹久大,等. 高速CCD 位移传感器[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(4):611-616. CHEN J,WANG X,CAO J D,et al.. Development of high-speed CCD laser displacement sensor[J].Opt.Precision Eng.,2008,16(4):611-616.(in Chinese) [3] GOODMAN J W. 傅里叶光学导论[M].秦克诚,刘培森 ,译.北京:电子工业出版社,2006. GOODMAN J W.Introduction to Fourior Optics[M]. QIN K CH,LIU P S,transl. Beijing:Publishing House of Electronics Industry,2006.(in Chinese) [4] 雷广智,张新,张建萍,等. 波前编码系统的新设计[J]. 光学 精密工程 ,2008,16(7):1172-1176. LEI G ZH,ZHANG X,ZHANG J P,et al.. Novel optimization method for wavefront coding system[J].Opt.Precision Eng.,2008,16(7):1172-1176.(in Chinese) [5] 邹振书,李喜增,张景和,等. 非接触测量 光学探头[J]. 光学 精密工程 ,1997,5(3):83-88. ZOU ZH SH,LI X Z,ZHANG J H,et al.. Laser optical probe for non-contact measurements[J].Opt.Precision Eng.,1997,5(3):83-88.(in Chinese) [6] 蔡明知,宋洪侠,曹铁泽,等. 基于PSD的高精度 位移传感器设计与分析[J]. 机电产品开发与创新 ,2007,20(5):150-152. CAI M ZH,SONG H X,CAO T Z,et al.. Design and analysis of high precision Laser Displacement Sensor based on position sensitive detector(PSD)[J].Development&Innovation of Machinery&Electrical Products,2007,20(5):150-152.(in Chinese) [7] 毛文炜.光学镜头的优化设计 [M].北京:清华大学出版社,2009. MAO W W.Optimized Design of Optical Lenses[M]. Bingjing:Tsinghua University Press,2009.(in Chinese)
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出版历程
  • 收稿日期:2010-03-11
  • 修回日期:2010-05-13
  • 刊出日期:2010-10-25

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