留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

乌氏干涉测量的信息读取

张景和,张顺国,董跃华

downloadPDF
张景和, 张顺国, 董跃华. 乌氏干涉测量的信息读取[J]. , 2011, 4(2): 147-153.
引用本文: 张景和, 张顺国, 董跃华. 乌氏干涉测量的信息读取[J]. , 2011, 4(2): 147-153.
ZHANG Jing-he, ZHANG Shun-guo, DONG Yue-hua. Information reading of Ubbelohde interferometry[J]. Chinese Optics, 2011, 4(2): 147-153.
Citation: ZHANG Jing-he, ZHANG Shun-guo, DONG Yue-hua. Information reading of Ubbelohde interferometry[J].Chinese Optics, 2011, 4(2): 147-153.

乌氏干涉测量的信息读取

基金项目:

国家十五攻关项目(No.41318.2.12)

详细信息
    作者简介:

    张景和(1955—)男,吉林梅河口人,教授,主要从事精密机械、非标设备设计、超精密加工和检测等方面的研究。E-mail:zjh2059@163.com

  • 中图分类号:TH744.3

Information reading of Ubbelohde interferometry

  • 摘要:针对乌氏干涉仪条纹信号调整难、用肉眼读数难等问题,提出将He-Ne 作为乌氏干涉仪光源的设计,得到了高质量的干涉条纹信号,并采用光电转换方法将条纹移动信号转变为电信号实现了微位移的高精度测量。设计了光电信号检测电路,利用双门限整形电路标定出整形方波,克服了干涉信号在设定比较值附近抖动引起误处理的缺点;提出了辨向细分电路,在1路干涉条纹信号下,提取了具有正交性的2路电子信号,实现了干涉条纹的移动辨向与信号细分。按此方案设计并搭建了一套 干涉检测实验装置,用2个计量差值为5 m的标准量块,对 干涉检测装置进行了标定,在电路为4细分的情况下,该装置测量分辨率达79 nm;解决了乌氏干涉仪自动读数的问题,提高了乌氏干涉仪的测量精度和准确性。

  • [1] 苏绍璟. 大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究 . 长沙:国防科技大学 ,2001. SU SH J. The theory and key technology of the large range of nano-grating displacement measurement .Changsha:National University of Defense Technology,2001.(in Chinese) [2] TOLLES W M. Nanoscience and nanotechnology in Europe[J].Nanotechnology,1996,(7):59-105. [3] 高宏堂. 2.5维大范围纳米 干涉测长信号处理子系统的研究 . 北京:中国计量科学研究院 ,2005. GAO H T. The study of 2.5-dimensional large-scale laser interferometer measuring signal processing subsystem .Beijing:National Institute of Metrology P.R.China.,2005.(in Chinese) [4] 宋浩. 高精度大量程位移测量与校准器的研究 . 武汉:华中科技大学 ,2007. SONG H. The study of large range and high-precision displacement measurement and calibration devices .Wuhan:Huazhong University of Science and Technology,2007.(in Chinese) [5] SUN CH S,YU L CH,SUN Y X,et al.. Scanning white-light interferometer for measurement of the thickness of a transparent oil film on water[J].Appl. Opt.,2005,44:5202-5205. [6] 夏豪杰. 高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究 . 合肥:合肥工业大学 ,2006. XIA H J. High-precision of two-dimensional grating measurement system and key technologies .Hefei:Hefei University of Technology,2006.(in Chinese) [7] 郧建平. 基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究 . 武汉:华中科技大学 ,2008. YUN J P. The study based on white light interference surface morphology of dual-use contact and non-contact measurement system .Wuhan:Huazhong University of Science and Technology,2008.(in Chinese) [8] 李东光,张国雄. 高速精密 干涉测量的研究现状及其关键技术[J]. 航空精密制造技术 ,1998,34(6):29-34. LI D G,ZHANG G X. High speed precision laser interferometry's research and its key technologies[J].Aviation Precision Manufacturing Technol.,1998,34(6):29-34.(in Chinese) [9] 李家猛. 嵌入式光纤温度传感器的设计 . 合肥:合肥工业大学 ,2007. LI J M. The design of embedded fiber-optic temperature sensor .Hefei:Hefei University of Technology,2007.(in Chinese) [10] 张丽平. 光栅测量在汽车轮毂跳动量测量中的应用 . 长春:长春理工大学 ,2008. ZHANG L P. The application of grating measured in the beating wheel measurement .Changchun:Changchun University of Science and Technology,2008.(in Chinese) [11] 陈莉. 球面曲率半径的单频 干涉测量研究 . 南京:南京理工大学 ,2005. CHEN L. The study of single-frequency laser interferometer measure in spherical radius of curvature .Nanjing:Nanjing University of Science and Technology,2005.(in Chinese) [12] 韩旭东,艾华. 共光路移相单频 干涉测长系统[J]. 光学技术 ,2004,30(2):195-198. HAN D X,AI H. Common-path phase single-rate laser interferometric system[J].Opt. Technique,2004,30(2):195-198.(in Chinese) [13] 张景和.V形法测量中支撑对测量精度的影响[J]. 光学 精密工程 ,1998(5):128-132. ZHANG J H. Support for the measurement accuracy influence in V measurement[J].Opt. Precision Eng.,1998(5):128-132.(in Chinese) [14] 刘岩,龙科慧,王立朋,等. 栅尺动态测量仪[J]. 光学 精密工程 ,1993,1(2):14-19. LIU Y,LONG K H,WANG L P,et al.. Grating dynamic measuring instrument[J].Opt. Precision Eng.,1993,1(2):14-19.(in Chinese) [15] BINNIG G,QUATE C F,GEBRER C. Atomic force microscope[J].Phys. Rev. Lett.,1986,56(9):930-933.
  • 加载中
计量
  • 文章访问数:4359
  • HTML全文浏览量:534
  • PDF下载量:1286
  • 被引次数:0
出版历程
  • 收稿日期:2010-09-02
  • 修回日期:2010-11-23
  • 刊出日期:2011-04-25

目录

    /

      返回文章
      返回
        Baidu
        map